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無油真空泵的選擇介紹

2019-05-22 關(guān)注次數(shù):

無油真空泵的選擇介紹:


1.無油真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的Ji限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度Zhi少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。


2.正確地選擇無油真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。


3.無油真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。


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